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產學研共育精進單位總覽
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能源與精敏系統設備處
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112年 光電半導體製程設備技術及應用場域發展
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精微系統技術研發服務組
108年 電子設備暨先進封裝設備產業推動及試煉場域
能源與精敏系統設備處
光電技術組
111年 光電半導體製程設備技術及產品應用場域發展
能源與精敏系統設備處
光電技術組
109年 智慧化設備與預檢知技術發展
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